涡轮分子泵如何工作,它们的应用是什么?发现这些高科技泵的主要特征,以及它们如何帮助高真空环境领域的研究人员和专业人士。
涡轮分子泵的运行原理是,可以通过与移动的固体表面重复碰撞来使气体分子在选择的方向上具有动力,从而实现并维持泵内部的高真空区域。
涡轮泵主要由两个部分组成:涡轮和阻力。涡轮截面是由交替的旋转和固定圆盘制成的,这些磁盘包含倾斜叶片。这些分别称为转子和定义。
当气体分子进入涡轮泵的入口并与旋转的转子叶片发生碰撞时,叶片赋予的动量将气体分子进一步重定向到泵中。
因此,通过动量转移来压缩气体:进入泵入口的气体分子被转子叶片击中,并将其向下偏转朝向定子叶片。多重压缩阶段(刀片/定子对)可以将气体压缩至约10-3托尔。在每个阶段,分子一次又一次地与转子表面碰撞,最终将它们带出泵的排气管。
涡轮泵应用的示例
Turbo-Pump设计与关键应用并同时发展,以提供优化的解决方案:
应用领域涉及:
- 分析仪器
质谱
扫描电子显微镜- 高气负荷/负载锁应用
- 高能物理学
超高,超清洁的真空
在为特定应用选择涡轮泵时,必须注意性能,环境优化和施工质量。
例如,在处理高气负荷应用时,Agilent Technologies使用两种单独的方法:
- 降低旋转速度(使用Twistorr FS泵模型)
- 拖动阶段的选择(带有Twistorr 305-Q模型)
单击此处以了解有关安捷伦的涡轮分子泵
理想的UHV涡轮泵特性是什么?
- 高压
- 超干净
- 没有流浪磁场
- 高烘烤温度
Agilent的Twistorr Drag舞台设计结合了Holweck和Gaede(宏观 - 托尔)设计的好处:
浮动悬架
- 专有轴承安装系统可提供较高的对齐和抵抗力
油脂润滑机械轴承
- 允许泵安装的任何方向
悬臂设计
- 上和下轴承都在泵的粗糙真空段中
悬臂设计(vs Mass Central设计)允许更简单的设计,还可以更好地径向刚度和改进的转子对齐。更紧密的径向间隙改善压缩。
安捷伦的悬臂设计和油脂润滑轴承合并以产生理想的UHV/UCV泵。英国和德国实验室进行的测试证实,安捷伦的涡轮设计是“几乎没有碳氢化合物”(与完整的Mag Lev Turbo泵相吻合)。